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    半導(dǎo)體點膠機直線電機LS-77

    睿斯合點膠針對半導(dǎo)體行業(yè)的精密點膠需求,研發(fā)出大理石機架+直線電機點膠機,精度可達1um,速度可達1.5m/s,百級防塵,打造無塵工作環(huán)境。

    產(chǎn)品概覽

    半導(dǎo)體點膠機LS-77核心優(yōu)勢

    高速運行,高速點膠,最大速度可達1.5m/s(X/Y),最大加速度1.5g(X/Y)。

    高精度,大理石平臺結(jié)構(gòu)精密質(zhì)地均勻,穩(wěn)定性好,強度大、硬度高,耐磨性好,能在重負(fù)荷及一般溫度下保持穩(wěn)定。直線電機加速度大,因為消除了影響精度的中間環(huán)節(jié),系統(tǒng)的精度更高。

    百級防塵,配置防塵部件及線纜,氣體過濾等,打造無塵工作環(huán)境,專用于環(huán)保車間。ESD防靜電設(shè)計(符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20標(biāo)準(zhǔn)) ; 防震動(礦物質(zhì)框架,具有良好吸震性,有效減少高速運動帶來的沖擊)。

    實時MES系統(tǒng)對接,上傳生產(chǎn)狀態(tài)信息,系統(tǒng)異常狀態(tài)報警。支持SECS/GEM半導(dǎo)體通訊協(xié)議。


    外形尺寸(單位:mm):770×1170×1770(W*D*H)

    半導(dǎo)體點膠機LS-77尺寸圖

    適用行業(yè)

    符合半導(dǎo)體行業(yè)高精高速的點膠工藝需求。

    規(guī)格參數(shù)

    LS-77

    基本參數(shù)

    尺寸 mm

    770×1170×1770(W*D*H)

    重量 kg

    標(biāo)準(zhǔn)機:980

    用電需求

    電壓220V,50HZ,電流16A

    氣壓需求MPa

    最小氣壓0.6

    設(shè)備功耗W

    ≦3200

    有效行程 mm

    X410*Y475(單閥單軌);X410*Y400(單閥雙軌)

    X350*Y475(雙閥單軌);X350*Y400(雙閥雙軌)

    軌道高度mm

    910±30

    軌道承重(含載具)Kg

    4.5

    最大基板厚度 mm

    5.5

    軸數(shù)

    X、Y、Z

    驅(qū)動方式

    直線電機+精密導(dǎo)軌

    定位精度

    ±2um(X\Y);±2um(Z)

    重復(fù)精度

    ±1um(X\Y);±1um(Z)

    最大速度

    1.5m/s(X/Y);

    最大加速度

    1.5g(X/Y);

    視覺定位系統(tǒng)

    工業(yè)CCD

    計算機及軟件

    Windows 系統(tǒng)開發(fā)下軟件


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